穩(wěn)流閥 穩(wěn)流閥是為了控制流經(jīng)穩(wěn)流閥的載氣流速保持穩(wěn)定用的，因此原理和穩(wěn)壓閥、減壓閥*不同。這里是一個穩(wěn)流閥的結(jié)構(gòu)示意圖，從中我們可以看到這一點(diǎn)。
首先我們發(fā)現(xiàn)調(diào)整旋鈕并不是壓緊彈性膜片，而是在調(diào)整入口針型閥。而且其他地方與穩(wěn)壓閥相比，差異也很大。從原理上看，
穩(wěn)流閥的工作是這樣的：
當(dāng)
穩(wěn)流閥出口氣體阻力增加時(shí)，氣體流出速度變慢，將導(dǎo)致出口壓力P4增加，于是B腔內(nèi)壓力P2和P4的壓差減小，從B腔流出下部針型閥的氣體流量減小，B腔氣體量增加，導(dǎo)致B腔壓力P2增加。P2增加導(dǎo)致金屬膜片向上移動，下部針型閥開度增加，從B腔流出的氣體量增加，從而導(dǎo)致P4壓力增加。P4壓力增加，將導(dǎo)致閥后載氣流量加大。這樣就彌補(bǔ)了出口阻力增加造成的氣體流量減小。而調(diào)整旋鈕則通過調(diào)整入口和B腔間針型閥的開度，來控制B腔壓力P2和入口壓力P3/P1的壓差，來控制整個氣體流速的大小。
